中文名稱：四甲基氫氧化銨

英文名稱：Tetramethylammonium Hydroxide

英文別名：TMAH

CAS號：75-59-2

分子式：C4H13NO

分子量：91.15

等級：電子級

MDL號：MFCD00008280

 本品為無色結晶（常含三、五等結晶水），極易吸潮，在空氣中能迅速吸收二氧化碳，130℃時分解為甲醇和三甲胺，通常使用有10％、25％水（或醇）溶液和含結晶水化合物。有機強堿，極譜試驗支持液；電子工業光刻膠刻蝕劑；有機硅行業中，自消除堿催化劑及其它。

結構式：

指標：

 四甲基氫氧化銨的制法:離子膜電解法

  用途：

 1.在有機硅方面，四甲基氫氧化銨作為二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有機硅擴散泵油，無溶劑有硅模塑料，有機硅樹脂，硅橡膠等  的催化劑；

 2.在分析方面，四甲基氫氧化銨作為極譜試劑；

 3.在產品提純方面作為無灰堿用以沉淀許多金屬元素；

 4.在有機硅片生產中常用作計算機硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。

 優點： 

它具有強堿性，在不超過分解點的溫度下穩定。當催化完畢后很容易除掉，不留任何殘渣。對有機硅產品無污染。因此又稱為“暫時催化劑”，在分析中可用于極譜試及用來沉淀不含灰份的許多元素的氫化物。